エフコン
タッチパネル式ガス混合器 CUBE GM-X3

商品

特徴

●マスフローコントローラーを使用しているため、圧力・温度の影響を受けにくく安定した混合ガスの供給が可能です。
●タッチパネル式で設定が容易です。
●各ラインの流量・時間を設定しプログラム運転が可能です。
●各ライン流量の上下限設定が可能で警報音通知が可能です。

仕様

混合ライン数:3
サイズ(mm):430×400×280
対応ガス種:N2・Air・H2・Ar・He・CO2・O2・CH4等不活性ガス
流量:1ライン10SCCM~20SLM(各系統ガス合計50SLMまで)
接続:1/4SWL相当
入力電源:AC100V

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