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ウェハホットチャック Φ4 黒アルマイト PH201S-04

商品

特徴

ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定できます。
付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。

仕様

プレートサイズ:Φ4インチ表面処理:黒アルマイト
<ホットチャック部>
▼チャック可能サイズ:Φ2~4インチ
▼温度制御範囲:室温~200°C
▼温度精度:±1.5%
▼電気容量:400W
▼サイズ:140×170×50.5mm
▼重量:約3kg
<温度調節器>
▼電源:AC100V 50/60Hz
▼サイズ:98×156×101mm
▼重量:約1.3kg
※別途真空ポンプが必要です(推奨ポンプ例:1-9197-02 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAP-12S)。

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