MSAファクトリー
ウェハホットチャック Φ4 金メッキ PH201K-04

商品

特徴

ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定できます。
付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。

仕様

プレートサイズ:Φ4インチ表面処理:金メッキ
<ホットチャック部>
▼チャック可能サイズ:Φ2~4インチ
▼温度制御範囲:室温~200°C
▼温度精度:±1.5%
▼電気容量:400W
▼サイズ:140×170×50.5mm
▼重量:約3kg
<温度調節器>
▼電源:AC100V 50/60Hz
▼サイズ:98×156×101mm
▼重量:約1.3kg
※別途真空ポンプが必要です(推奨ポンプ例:1-9197-02 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAP-12S)。

個人宅宛の配送について

※配送先が個人宅宛の場合、 ご注文のキャンセル又は出荷まで+3営業日ほどお時間をいただく場合がございます。