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スピンコーター 試料台(適応基板サイズ~150mm) Φ125

商品

特徴

様々な溶液を用いた開発や評価用途に適しています。安全カバーとインターロック用マグネットセンサが標準装備されています。
多段式で10ステップ・100パターンのプログラムメモリを搭載しています(50ステップ・20パターンに切替可能。ご注文時にご指定ください)。
本体及び真空ポンプ側にワンタッチコネクタが付属されているため、チューブ接続が容易です。

仕様

仕様:試料台(適応基板サイズΦ125~150mm)試料台:規格/基板吸着溝幅1mm、材質/POM素材(ポリアセタール)
真空ポンプ付属品:専用チューブ3m(外径Φ6mm)
※本体使用時には、別売の真空ポンプと試料台が必要です。
※試料台の適応基板サイズは目安です。
※特注対応可能です。お問い合わせください。
★※Φ100mm以上の基板には用途によりセンタリング治具が必要です。別サイズにつきましてはお問い合わせ下さい。

個人宅宛の配送について

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