ミライアル
PFAウェハーキャリア（6インチ） シリーズ

特徴

●KM-60WDは、側面の開口が特に大きく洗浄性に優れています。但し、ウェハーの水平移載とPFAハンドルには対応していません。

仕様

●材質：セミプラストRA（PFA）

備考

※適合ハンドルについてはJus-Tisをご覧ください。