小型マスフローコントローラ

特徴

●スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能、プリセット機能等の機能があります。
●0.5sec以内の高速制御が可能です。
●流量制御値及び積算機能を搭載しています。
●消費ガスやパージガスの流量制御に適しています。
●※小型マスフローコントローラーには専用ケーブルまたは専用アダプタが必要です。