ターボ分子ポンプシステム

特徴

●完全オイルフリーで高い排気速度があります。
●コンパクトで卓上でも使用できます。
●粗引きから高真空まで一台でカバーできます。

グループ説明

●吸気側フランジ:DN63 ISO-KまたはDN63 CF(ターボ分子ポンプ)
●排気速度:65l/s(ターボ分子ポンプ)、0.7m3/h(ダイヤフラムポンプ)
●到達圧力:10#-7#mbar(ターボ分子ポンプ)、3mbar(ダイヤフラムポンプ)
●動作電圧:88~264V