電離真空計

特徴

●三極管型メタル電離真空計で真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命です。
●測定精度±10%で、感度の安定性も向上しています。
●大気圧から高真空領域(1×10^-5~1×10^5)の測定が可能(SPU・SAU同時使用の場合)です。
●ハイドロカーボン(油系)が多い雰囲気等ハードなプロセスでの使用に適しており、長寿命の測定子の為ランニングコストの低減が可能です。