流量計付レギュレータ

特徴

●ガス置換の際に導入ガスの圧力と流量を調整し、ガスを確実に導入するフローコントローラーです。
●同時に3台までコントロールできます。

グループ説明

<圧力調整バルブ>
●対象ガス:Ar・N@2@・O@2@・CO@2@・He・Air・C@2@H@2@のうち1種類
●1次圧力:約0.98MPa(10kg/cm2)MAX
●流量:30l/min Max
●2次圧力:0~約0.49MPa(0~5kg/cm2)
●接続チューブ外径:φ6mm
<流量計>
●流量:10l/minMAX
●耐圧:約0.69MPa(7kg/cm2)
●耐熱:60°C MAX
●接続チューブ外径:φ6mm
●ハウジング:PMMA(アクリル)

備考

※本商品専用の部品はJus-Tisをご覧ください。