アルバック
高真空タイアフラムポンプ MD-4UNT

商品

特徴

サーマルプロテクター内蔵です。
DAU-100はアンローダバルブ付きです。
DTU-20はケミカルタイプで接ガス部にETFE・PTEE(四フッ化エチレン)・PP(ポリプロピレン)を使用しています。
MD-4UNTは広域型ターボ分子ポンプのバックポンプとして使用できます。

仕様

排気速度(L/min):60/70(50/60Hz)
到達圧力(Pa):100

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