ナベヤ
セラミック吸着テーブル 平面度25 平均気孔径2μm 330x330x20mm CAT3033SM

商品

特徴

●多孔質セラミックス吸着テーブルです。
●グリーンシート・ポリイミドフィルム・軽軟材・薄物材等の吸着に適しています。
●着面を前面覆わない部分的な吸着をマスキングなしで吸着することが可能です。
●剛性の低い極薄(板厚数μm)を変形せずに吸着可能です。

仕様

型番:CAT3033SM
サイズ(mm):330x330x20
平面度:25
平均気孔径:2μm
材質:上面/アルミナ系セラミックス、ベース/ステンレス(SUS303)
平均気孔率:30~35%
※使用の際は別途、真空ポンプが必要です。

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