直結型油回転真空ポンプ GLD-051

商品

特徴

・モーターフランジ化により、電力消費、騒音、振動が大幅に低下
・Gシリーズをさらに性能アップさせた本格的な油回転真空ポンプ
・油の逆流防止機構、ガスバラストバルブ、強制給油方式、過電流保護回路、強制空冷方式を装備。
・信頼性を追求した設計・製作。
・GVD/GLDシリーズはGシリーズのすべての機能に加え、メンテナンスの容易さ、低振動、低騒音などを付加。
■用途
・理化学実験用、分析機器用、レーザー応用器機
・真空排気装置、電子顕微鏡のバックポンプ
・半導体製造装置、スパッタリング装置、真空蒸着装置
・真空

仕様

排気速度:50Hz 50L/Min、60Hz 60L/Min
到達圧力:(ガスバラストバルブ閉)6.7×10-2PA、(ガスバラストバルブ開)6.7PA
電源:1φ100V(50/60Hz)
質量(kg):13.9
吸気管径:KF-25
最大寸法(W×L×H):165.5×399.0×222.7

備考

※□40吸気アダプター(別売)+吸気管φ8、φ12、φ15、φ22、PT1/4オス、PT1/4メス、NW-25に変更可能(別売)
※サーマルプロテクター(内蔵)
※ガラスパラストバルブ付き