アルバック
電離真空計

商品

特徴

●異なる測定範囲の測定子が接続可能:マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。
●コンパクト:従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス
●ユーザビリティ向上:PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
●ラインアップの充実:アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定
●世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中):真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
●フィラメント寿命お知らせ機能:フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
●広範囲の圧力測定:大気圧から高真空領域(1×10+5~1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)
●正確な大気圧測定:チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)

仕様

●測定範囲(Pa):1.0×10^-5~1.0×10^5
●モード:ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード
●入数:1個
●外寸法:ST200+測定子/69×63×120mm、ISG1/48×70×96mm、SWU10-R+測定子/Φ40×81mm、SAU+測定子/Φ30×67.5mm
●使用温度範囲:ST200-A(10~50°C)
●測定値出力:出力電圧 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁
●測定精度:1.0×10^-4~3.0×10+0Pa:±10%(ST200-A単体モード)、1.0×10^-4~1.0×10+4Pa:±10% 1.0×10^4~1.0×10^5Pa:±20%(ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード)、1.0×10^-4~1.0×10^4Pa:±10% 1.0×10^4~3.0×10^5Pa:±3%F.S.(3.0×10^3Pa・基準温度25°C)(ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード)
●電源電圧:DC20~28V(リップル、ノイズ1%以下)8W以下
●SWT-16(NW16)・SWT-25(NE25):電離真空計測定子
●ISG1:表示器
●SWU10-R:ピラニ真空計(0.5mケーブル付き)
●SWP-16(NW16):ピラニ測定子
●SAU(NW16):大気圧センサ(0.5mケーブル付き)
●ディスプレイケーブル:5m(表示器・本体間ケーブル)
●ACアダプター付属

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