フロロウエアー・インテグリス
キャリア KA182-60MB-47C02

商品

特徴

薬液の残留を最小限に抑え、液切れも良好です。
保護用の側壁により作業時の接触によるダメージを防止します。

仕様

ウェハー径(mm):150(6”)
サイズ(mm):143.38×177.80×170.81
収納枚数:25枚
連続使用限界温度:120°C
材質:KAタイプ/SP3000(導電性PEEK+Carbon Fiber)、 Aタイプ/ナチュラルPFA(フッ素樹脂)
高温ウェハー投入限界温度:KAタイプ/500°C、Aタイプ/290°C

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