マスフローコントローラー 500SCCM-Ar C1005

商品

特徴

●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。

仕様

型番:C1005
フルスケール流量-ガス種:500SCCM-Ar
ガス種類:Ar
流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35°C)
応答性:6sec
流量制御範囲:5~100%FS
入出力:アナログ信号(0~5VDC)
バルブ形式:N/Oノーマルオープン
再現性:±0.2%FS
動作圧力範囲:50~300kPa
耐圧:1MPa(G)
外部リークレート:1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム
接続:1/4in.SWL相当
電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
サイズ:127×25.5×100mm

個人宅宛の配送について

※配送先が個人宅宛の場合、 ご注文のキャンセル又は出荷まで+3営業日ほどお時間をいただく場合がございます。