6インチPE-a-Siアモルファスシリコン膜付ウェーハ(100nm研究用[P(100)1-100Ω]片面ミラーDF25枚(1箱(25枚入り))

商品

特徴

●研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

仕様

●サイズ:6インチシリコンウェハ●a-Si(アモルファスシリコン)【PE-CVD】膜厚み:100nm狙い(データ付き)●直径(mm):150.0±0.5●ウェハー厚(μm):625±25●製造方法:CZ法●導電型:P型●面方位:100●抵抗値(Ω・cm):1~100●OF長(mm):47.5±2.5●面状態:ミラー/エッチド●パーティクル:ダストフリー●TTV(μm):≦20●数量:25枚(1箱)●※特注対応品●その他積層膜、パターニングなど多種取り扱いが御座いますので、お気軽にご相談下さいませ。●多様な形状加工と表面処理が可能です(例:エッチング、ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー)。●ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。●※膜ムラや膜厚みの狙いの商品につきましては、不問とさせて頂きます。

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