ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-20D

商品

特徴

クリーンな真空が得られるダイアフラム型(半導体製造などにおけるクリーンルーム内での使用については使用条件をお問い合せください)
・低騒音・低振動
他の方式に比べ低騒音・低振動を実現。
■用途
・真空チャック、ウエハー吸着搬送、フィルム吸着
・自動機械用、放送機械用、光学機械用
・真空ピンセット、医療機器用、印刷機械用

仕様

排気速度:50Hz 20L/Min、60Hz 24L/Min
到達圧力:5.3×103PA (アンローダーバルブ付)9.3×101PA
電源:1φ100V(50/60Hz)
質量(KG):7.2
吸気管径(0.0φ×I.Dφ):9.0×5.0
最大寸法(W×L×H):118.0×236.0×184.0

備考

※サーマルプロテクター(内蔵)
※アンローダーバルブ(オプション)