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真空チャンバーホットプレート(温度コントローラー付) PH-222-50-PCC-10A

商品

特徴

最高温度400°C対応の真空ホットプレートチャンバーです。観察窓によりワークの状態が視認できます。
金属、ウェハ等の真空雰囲気および低酸素濃度雰囲気下での高速昇温加熱プロセスに適します。

仕様

最高温度(°C):400プレートサイズ(mm):50×50
★チャンバー外形寸法(mm):170×170×58mm(フタ、突起、ゲージ含まず)
★入数:1個
プレート材質:アルミニウム
許容真空度:10Pa程度まで(別途真空ポンプが必要です)
使用最高温度:400°C
電源容量:100V 1.6A
チャンバー内高さ:20mm
ポート:ワンタッチ継ぎ手Φ6mm
電源コード長:2m

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