ミライアル
ウェハーキャリア KT-3002HB

商品

特徴

●300mmウェハー工程内容器(ハイブリッドFOSB)です。
●出荷用には使用できません。
●オートドア仕様です(手動開閉はラッチキーが必要)。
●ウェハー押さえにPEEKを使用しています。
●ラッチ数が少なく発塵が少ないです。

仕様

型番:KT-3002HB
ウェハー径(mm):300
収納枚数:25枚
材質:PC(ポリカーボネート)
D1寸法:44mm
溝ピッチ:10mm
フィルター(1枚)付き
SEMI規格準拠

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