ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-60D

商品

特徴

クリーンな真空が得られるダイアフラム型(半導体製造などにおけるクリーンルーム内での使用については使用条件をお問い合せください)
・低騒音・低振動
他の方式に比べ低騒音・低振動を実現。
■用途
・真空チャック、ウエハー吸着搬送、フィルム吸着
・自動機械用、放送機械用、光学機械用
・真空ピンセット、医療機器用、印刷機械用

仕様

排気速度:50Hz 60L/Min、60Hz 72L/Min
到達圧力:3.32×103PA
電源:1φ100V(50/60Hz)
質量(KG):19
吸気管径(0.0φ×I.Dφ):14.0×9.0
最大寸法(W×L×H):156.0×347.0×238.0

備考

※サーマルプロテクター(内蔵)
※アンローダーバルブ(内臓)