ナベヤ
セラミック吸着テーブル 平面度15 平均気孔径2μm φ220x115mm CAT2022RM

商品

特徴

●多孔質セラミックス吸着テーブルです。
●グリーンシート・ポリイミドフィルム・軽軟材・薄物材等の吸着に適しています。
●着面を前面覆わない部分的な吸着をマスキングなしで吸着することが可能です。
●剛性の低い極薄(板厚数μm)を変形せずに吸着可能です。

仕様

型番:CAT2022RM
サイズ(mm):Φ220x115
平面度:15
平均気孔径:2μm
材質:上面/アルミナ系セラミックス、ベース/ステンレス(SUS303)
平均気孔率:30~35%
※使用の際は別途、真空ポンプが必要です。

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