ミライアル
ウェハーキャリア KM-30

商品

特徴

開孔面積を広く取り、洗浄性を強化しています。
K-30-52はピッチを狭くし、一度に52枚ウェハーを収納可能です。
KM-30WDは、側面の開口が特に大きく洗浄性に優れています。但し、ウェハーの水平移載とPFAハンドルには対応していません。

仕様

収納枚数:25
A1:142.25
材質:セミプラストRA(PFA)

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